一、項(xiàng)目基本描述
對(duì)于晶圓生產(chǎn)而言，污染是造成產(chǎn)量損失的主要因素之一。在該車(chē)間class 1的環(huán)境要求下，員工進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間需穿戴防護(hù)服，但污染風(fēng)險(xiǎn)仍無(wú)法有效防控，而晶圓成本高昂，往往造成高昂的成本損失，產(chǎn)品良品率亟待提升。
優(yōu)艾智合智能物流解決方案，是以多臺(tái)晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人為基礎(chǔ)，搭載YOUI Pilot導(dǎo)航系統(tǒng)、YOUI Fleet機(jī)器人調(diào)度系統(tǒng)以及YOUI TMS場(chǎng)內(nèi)物流管理系統(tǒng)，形成一體化的晶圓物流自動(dòng)化解決方案。晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人滿足Class 1級(jí)別車(chē)間環(huán)境要求，應(yīng)用高精度激光SLAM導(dǎo)航自主移動(dòng)避障，同時(shí)舵輪底盤(pán)使機(jī)器人能夠橫向移動(dòng)，更加靈活地完成搬運(yùn)任務(wù)。機(jī)器人搭載導(dǎo)航及調(diào)度管理系統(tǒng)，自主識(shí)別車(chē)間場(chǎng)景，并進(jìn)行多機(jī)協(xié)同配合，YOUI TMS智能物流管理系統(tǒng)根據(jù)MES等企業(yè)信息系統(tǒng)進(jìn)行物流自主調(diào)度，打通工廠內(nèi)晶圓流轉(zhuǎn)過(guò)程中的物質(zhì)流與數(shù)據(jù)流，通過(guò)實(shí)時(shí)反饋生產(chǎn)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)了數(shù)字化智能管理。
2. 創(chuàng)新點(diǎn)
三、行業(yè)影響力
在芯片需求爆發(fā)、國(guó)產(chǎn)率不斷攀升的趨勢(shì)下，上游晶圓生產(chǎn)擴(kuò)大產(chǎn)能、降本增效成為行業(yè)普遍訴求。在某全球知名晶圓廠的晶圓無(wú)塵車(chē)間中，以往由多名工人進(jìn)行晶圓盒的轉(zhuǎn)運(yùn)工作，人工操作過(guò)程中的效率及穩(wěn)定性無(wú)法滿足需求擴(kuò)張下的產(chǎn)能需求，且人員的流動(dòng)、崗位調(diào)換等因素均為生產(chǎn)節(jié)拍的穩(wěn)定性帶來(lái)不利影響。
對(duì)于晶圓生產(chǎn)而言，污染是造成產(chǎn)量損失的主要因素之一。在該車(chē)間class 1的環(huán)境要求下，員工進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間需穿戴防護(hù)服，但污染風(fēng)險(xiǎn)仍無(wú)法有效防控，而晶圓成本高昂，往往造成高昂的成本損失，產(chǎn)品良品率亟待提升。
該廠一直尋求通過(guò)物流自動(dòng)化以提高生產(chǎn)效率，但由于該廠晶圓盒尺寸特殊，市場(chǎng)上難有合適的移動(dòng)機(jī)器人投入?yún)f(xié)助自動(dòng)化生產(chǎn)。優(yōu)艾智合在了解該廠的特殊需求后，派專(zhuān)業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)與該廠進(jìn)行多輪溝通，理解客戶訴求，并針對(duì)性地打造出一套完整的物流解決方案，解決該廠人工轉(zhuǎn)運(yùn)效率低等痛點(diǎn)，助力晶圓產(chǎn)能提升。
優(yōu)艾智合智能物流解決方案，是以多臺(tái)晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人為基礎(chǔ)，搭載YOUI Pilot導(dǎo)航系統(tǒng)、YOUI Fleet機(jī)器人調(diào)度系統(tǒng)以及YOUI TMS場(chǎng)內(nèi)物流管理系統(tǒng)，形成一體化的晶圓物流自動(dòng)化解決方案。晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人滿足Class 1級(jí)別車(chē)間環(huán)境要求，應(yīng)用高精度激光SLAM導(dǎo)航自主移動(dòng)避障，同時(shí)舵輪底盤(pán)使機(jī)器人能夠橫向移動(dòng)，更加靈活地完成搬運(yùn)任務(wù)。機(jī)器人搭載導(dǎo)航及調(diào)度管理系統(tǒng)，自主識(shí)別車(chē)間場(chǎng)景，并進(jìn)行多機(jī)協(xié)同配合，YOUI TMS智能物流管理系統(tǒng)根據(jù)MES等企業(yè)信息系統(tǒng)進(jìn)行物流自主調(diào)度，打通工廠內(nèi)晶圓流轉(zhuǎn)過(guò)程中的物質(zhì)流與數(shù)據(jù)流，通過(guò)實(shí)時(shí)反饋生產(chǎn)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)了數(shù)字化智能管理。
二、項(xiàng)目創(chuàng)新性
1.技術(shù)難點(diǎn)
① 視覺(jué)定位精度要求±1mm。
② 高頻次轉(zhuǎn)運(yùn)需求對(duì)節(jié)拍要求嚴(yán)苛，人工一次只能搬一個(gè)晶圓盒，8寸晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人一次最多可搬運(yùn)8個(gè)晶圓盒。
③ 震動(dòng)容易對(duì)晶圓產(chǎn)生裂紋，晶圓搬運(yùn)過(guò)程對(duì)震動(dòng)要求極其嚴(yán)格，晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人在作業(yè)時(shí)穩(wěn)定運(yùn)輸狀態(tài)振動(dòng)均值遠(yuǎn)小于 0.1G。
2. 創(chuàng)新點(diǎn)
① 市面普遍機(jī)器人最多設(shè)有4儲(chǔ)位，部分工藝晶圓流轉(zhuǎn)需求達(dá)到6個(gè)SMIF Pod，無(wú)法滿足工藝需求，OW8晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人擁有目前業(yè)界最多的儲(chǔ)位，設(shè)有8儲(chǔ)位以及料位智能化管理，滿足所有工藝晶圓流轉(zhuǎn)需求。
② 可取放240-2500mm，目前業(yè)界最高晶圓盒上下料作業(yè)高度和最低作業(yè)高度優(yōu)勢(shì)，提高FAB的空間利用率。
③ 人工維修高架地板會(huì)產(chǎn)生坑洞，晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人自帶檢測(cè)坑洼的傳感器，防止跌入。
④ 打通不同工藝流程之間物質(zhì)流和信息流，生產(chǎn)物流數(shù)據(jù)全流程可追溯，實(shí)現(xiàn)車(chē)間生產(chǎn)可視化和生產(chǎn)過(guò)程運(yùn)營(yíng)管控。
三、行業(yè)影響力
通過(guò)優(yōu)艾智合的晶圓智能物流解決方案，在實(shí)現(xiàn)晶圓盒的無(wú)人化轉(zhuǎn)運(yùn)和精準(zhǔn)上下料的同時(shí)，減小無(wú)塵車(chē)間污染帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)，提升良品率，降低50%震動(dòng)所致晶圓破裂風(fēng)險(xiǎn)，避免人工搬運(yùn)帶來(lái)的損壞問(wèn)題；減少操作員30%無(wú)效行走；移動(dòng)機(jī)器人上下料作業(yè)高度覆蓋0.3-2.5米，提高電子料架利用率66%，整廠實(shí)現(xiàn)了2%的效率提升。
